（中央社記者張建中新竹18日電）晶圓代工廠台積電（2330）衝刺先進製程技術，也大手筆投入環保，連續7年相關支出超過新台幣100億元水準，合計達997.64億元，推動環保計畫帶來的經濟效益達102.63億元。
據統計，台積電自民國102年環保支出超過100億元後，已連續7年維持在100億元以上規模，108年環保支出更達196.57億元，逼近200億元。
台積電表示，各晶圓廠均設置空氣及水污染防治設備，並符合法規排放標準，各種污染防治設備也擁有緊急電源在內的備援系統，降低萬一部分設備故障時造成污染物異常排放風險，並將空氣及水污染防治設備的運轉狀況納入中央監控系統。
台積電還成立專責單位統籌廢棄物再利用及清除處理，為強化廠商稽核效能，要求所有廢棄物清運商加入全球衛星定位系統，追蹤所有車輛清運路徑及異常停留點。
節能方面，台積電表示，108年共執行503項措施，包括修改機台、汰換高效能節能幫浦、機台製程冷卻水減量、排氣減量、全新機台採購使用高效率節能附屬設備，並進行空調節能調整、設置冰機自動變溫節能系統及非無塵室智慧照明。
台積電表示，108年節能3億度，相當於減少16萬公噸二氧化碳排放。新增節水措施節水量328萬公噸，廢棄物回收率達96%，且連續5年達95%，掩埋率連10年小於1%，共帶來14.96億元的經濟效益。
台積電指出，將持續推動各項強化環保的永續行動，預計119年達到全公司生產廠房25%用電量為再生能源，非生產廠房100%用電量為再生能源。自105年至119年新增節能措施累積節電總量50億度。
台積電表示，至119年單位產品用水量將較99年降低30%，隨著台積電南科再生水廠預計110年開始供水，台積電至119年再生水替代率將達30%以上，拓展多元水資源，致力成為全球綠色製造領導者。（編輯：黃瑞弘）1090718
